Ni-Fe合金のエッチング用組成物およびエッチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-234679
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059192
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】エッチング速度が実用化される50°C以上でも、エッチング後のエッチング面の仕上がりが良好であり、作業環境に問題がなく、人体に安全なNi-Fe合金のエッチング用組成物およびエッチング方法を提供する。【解決手段】塩酸0.01〜2.0重量部、好ましくは0.1〜0.9重量部と、有機ホスホン酸またはその塩0.01〜5.0重量部、好ましくは0.03〜1.0重量部とを含み、30〜60重量%、好ましくは45〜60重量%のの塩化第二鉄水溶液によって100重量部に調整したエッチング用組成物およびこのエッチング用組成物を50°C以上、好ましくは60〜80°CでNi-Fe合金をエッチングする方法。

請求項（抜粋）：

塩酸(HClとして)0.01〜2.0重量部と、有機ホスホン酸またはその塩0.01〜5.0重量部とを含み、30〜60重量%の塩化第二鉄水溶液によって100重量部に調整したことを特徴とするNi-Fe合金のエッチング用組成物。

IPC (2件)：

C23F 1/28 , H01L 23/50

FI (2件)：

C23F 1/28 , H01L 23/50 A

Fターム (12件)：

4K057WA11 , 4K057WA18 , 4K057WB02 , 4K057WB03 , 4K057WE08 , 4K057WE11 , 4K057WG02 , 4K057WG03 , 4K057WN02 , 4K057WN03 , 5F067DA16 , 5F067EA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

ステンレス鋼のエッチング液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-021461 出願人：旭電化工業株式会社
特開昭63-079983
特開昭63-079983

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