特許
J-GLOBAL ID：200903052002814590
走査型投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296235
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115825
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 ステージの速度を高速化することなく、露光時間を短縮する。【解決手段】 ステージ12、16の走査が開始されると、干渉計24では基板ステージ12の位置を計測し、干渉計ユニット38では干渉計12の出力を微分して基板ステージの速度信号とし、この速度信号を出力する。主制御装置60ではこの速度信号に応じた露光光の光量の指令値を出力する。光量調整系70では主制御装置60からの指令値に応じて露光光源62からの露光光の光量を調整する。従って、基板ステージ12の走査方向の駆動開始から停止までの全ての時間領域に渡って基板ステージ12の速度にかかわりなく適正光量の露光が行なわれる。このため、ステージの定速部のみで露光を行なっていた場合に比べて露光時間を短縮することができる。
請求項（抜粋）：
マスクを保持するマスクステージと感光基板を保持する基板ステージとを所定の走査方向に投影光学系の倍率に対応する所定の速度比で同期走査しつつ、前記投影光学系を介して前記マスクのパターンを前記感光基板に転写する走査型投影露光装置であって、前記マスクを照明する露光光を発する露光光源と;前記マスクステージ及び前記基板ステージの内の一方のステージの位置を計測する位置計測手段の出力に基づいて当該一方のステージの速度に応じた露光光の光量の指令値を出力する指令値出力手段と;前記指令値出力手段からの指令値に応じて前記露光光源からの露光光の光量を調整する光量調整系とを有する走査型投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 515 B
, H01L 21/30 516 D
