特許
J-GLOBAL ID：200903052071863595

データ変換装置及びデータ変換方法

発明者：
米倉 勲

米倉 勲 について

, 
福島 祐一

福島 祐一 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-275278
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105452
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】フォトマスクパターンの光学的観察像をコンピュータに取り込み、画像処理を施すことによって、光強度シミュレーションのためのデータに変換する、データ変換装置及びデータ変換方法を提供すること。【解決手段】フォトマスクパターンの画像データ(ビットマップデータ)を画像入力処理S1によってコンピュータに取り込み、RGBの画像データを濃度変換処理S2によって濃度データに変換する。次に、平滑化処理S3で濃度データの平滑化を行い、さらに2値化処理S4で2値のパターンデータに変換する。また、寸法計測処理S5によって単位画素の大きさ計測し、矩形分割処理S6でパターンデータの矩形分割を行う。これらの処理によって、光強度シミュレーションを行うためのマスクパターンデータに変換される。
請求項（抜粋）：
フォトマスクパターンの光学的観察像を画像情報として取り込み、光強度シミュレーションのためのデータに変換するデータ変換装置であって、(a)フォトマスクパターンを光学的に撮像し、これを画像データであるビットマップデータとして変換して取り込む撮像装置を備えた画像入力手段と、(b)該ビットマップデータの各画素のRGBデータを濃度I=(R+G+B)/3により、濃度データに変換し、該濃度データのノイズをフィルタ処理によって除去することで平滑化し、該平滑化された濃度データを2値化し、各1画素あたりの寸法を計測し、2値化手段されたフォトマスクパターンのデータの任意の領域を矩形分割し切り出しを行う画像処理手段と、以上の(a),(b)のいずれも具備することを特徴とするデータ変換装置。
IPC (2件)：
G03F 1/08 ,  G06T 7/00
FI (2件)：
G03F 1/08 A ,  G06F 15/62 405 Z
Fターム (19件)：
2H095BB01 ,  5B057AA03 ,  5B057AA20 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CE09 ,  5B057CE12 ,  5B057CE16 ,  5B057DA03 ,  5B057DC03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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