特許
J-GLOBAL ID:200903052118922072

レーザ周波数測定方法及びレーザ周波数制御方法並びにレーザ光発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-084789
公開番号(公開出願番号):特開2000-275107
出願日: 1999年03月26日
公開日(公表日): 2000年10月06日
要約:
【要約】【課題】 光周波数コムと被測定レーザ光をヘテロダイン検波してその差周波数を測定あるいは制御するに当たり、SN比を改善して十分な測定精度を確保する。【解決手段】 第1のレーザ光源110から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生器120により発生し、第2のレーザ光源130から出射された被測定レーザ光と上記光周波数コム発生器120により発生された光周波数コムを光学系140により混合し、非線形光学結晶素子150から出射されるレーザ光を受光する光検出器160による検出出力に基づいて、周波数測定器170により、上記非線形光学結晶素子150による光第2高調波成分と、上記被測定レーザ光と光周波数コムの和周波数成分のヘテロダイン成分を検出することにより上記被測定レーザ光の周波数を測定する。
請求項(抜粋):
第1のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムと第2のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第2高調波発生により得られる光第2高調波成分とのヘテロダイン成分を検出し、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記第1のレーザ光又は第2のレーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定方法。
IPC (6件):
G01J 9/00 ,  G02F 1/37 ,  G02F 2/00 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/109
FI (6件):
G01J 9/00 ,  G02F 1/37 Z ,  G02F 2/00 ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/10 C ,  H01S 3/109
Fターム (14件):
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB19 ,  2K002CA03 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  5F072AB13 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK11 ,  5F072KK12 ,  5F072QQ02 ,  5F072QQ04 ,  5F072RR01 ,  5F072YY11
引用特許:
審査官引用 (2件)

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