特許

J-GLOBAL ID：200903052178517177

電子顕微鏡とその対物レンズ系収差特性の計測方法

発明者： 木本 浩司 ,  石塚 和夫 ,  松井 良夫
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007000455
公開番号（公開出願番号）：WO2007-125652
出願日： 2007年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

本発明は電子顕微鏡における収差の計測方法、その計測結果に基づき収差補正を行う機能を有する装置を備えた電子顕微鏡に関するものである。 本発明で提供される電子顕微鏡における収差の計測方法では、少なくとも1以上のロンチグラム(12a)を観察し、その少なくとも一カ所以上のフーリエ変換図形(13a)を計算し、その図形から収差を計測する。本発明で提供される電子顕微鏡では、計測した収差を表示する機能、その計測結果に基づき、電子顕微鏡の動作条件を調整する機能を有する。本発明の原理を利用するためには、ロンチグラムを観察する画像取得装置と、ロンチグラムのフーリエ変換図形を解析し収差を計算するための画像解析装置、計測した収差に基づき電子顕微鏡の動作条件を調整するための制御装置が必要である。

請求項（抜粋）：

試料の近傍に電子を収束する対物レンズ系を有し、前記電子を前記試料に透過させてロンチグラムを得る電子顕微鏡の対物レンズ系収差特性の計測方法であって、前記ロンチグラムの少なくとも一部のフーリエ変換図形の、構成要素の相対距離又は/及び形状が、前記対物レンズ系収差特性により変化することを用いて該対物レンズ系収差特性を計測することを特徴とする、電子顕微鏡の対物レンズ系収差特性の計測方法。

IPC (2件)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J37/153 A ,  H01J37/28 C

Fターム (4件)：

5C033HH02 ,  5C033HH05 ,  5C033HH08 ,  5C033SS07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-137720   出願人：日本電子株式会社