特許

J-GLOBAL ID：200903052215653426

圧力センサ

発明者： 齋藤 幸正 ,  相澤 満芳
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社テムテック研究所
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089051
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286574
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 高耐食性を有する真空計測用の絶対圧センサを実現し、厳しい腐食環境下でも腐食による圧力シフトや金属汚染を発生させることなく圧力を計測でき、半導体製造装置での安定したプロセスを可能とする。【解決手段】 内部が中空で一端に圧力導入部2を有する本体3と、該本体3の内部に前記圧力導入部2側とそれ以外の部分とに仕切るべく気密に設けられたセンサモジュール4とを備え、該センサモジュール4は真空室11と、該真空室11と前記圧力導入部2とを仕切る受圧部12と、該受圧部12の内面に設けられた検出素子13とを有し、前記本体3およびセンサモジュール4の少なくとも接ガス面を非金属の高耐食性材料により形成している。

請求項（抜粋）：

内部が中空で一端に圧力導入部を有する本体と、該本体の内部に前記圧力導入部側とそれ以外の部分とに仕切るべく気密に設けられたセンサモジュールとを備え、該センサモジュールは真空室と、該真空室と前記圧力導入部とを仕切る受圧部と、該受圧部の内面に設けられた検出素子とを有し、前記本体およびセンサモジュールの少なくとも接ガス面を非金属の高耐食性材料により形成したことを特徴とする圧力センサ。

Fターム (6件)：

2F055AA31 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE40 ,  2F055FF38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-175546   出願人：横河電機株式会社
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169357   出願人：長野計器株式会社
• 圧力又は差圧を測定するための装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-002498   出願人：エンドレスウントハウザーゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングウントコンパニー
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-110879   出願人：株式会社不二工機