光走査装置および画像形成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴木誠 , 大浦一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-026528
公開番号（公開出願番号）：特開2004-239987
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】環境温度が変化しても振れ角の変動を少なくする。【解決手段】第一の基板42は、分離溝49により、ミラー50を有するミラー基板44と第一固定電極51と第一固定電極52に分割され、第二の基板43は、第一の基板42と絶縁層48を介して接合され、ミラー基板44の揺動空間59が形成されている。第二の基板43は、分離溝49により、2つの第二固定電極53、54に分割される。温度変化に関わらず一定な振れ角を最大振れ角θmaxと定義し、ミラー基板44の幅を2L、厚さをT0、第一固定電極の厚さをT0とするとき、第二の基板43の厚さTが、以下の関係を満たすように設定する。T0<T<L・sinθmax-T0/2【選択図】図6

請求項（抜粋）：

同一直線上に設けた梁を捻り回転軸として往復振動するミラー基板を備え、光源からのビームを偏向走査する光走査装置であって、ミラー基板と、前記梁を介して前記ミラー基板を支持する第一の基板と、前記ミラー基板の両端面に可動電極を有し、それと対向して前記第一の基板に第一の固定電極を形成し、前記第一の基板と絶縁層を介して接合し、前記ミラー基板の揺動空間を有する第二の基板と、前記第二の基板上で、前記第一の固定電極と重なる位置に、2つに分割された第二の固定電極を設け、前記第二の基板の厚さTは、前記ミラー基板の最大振れ角をθmax、幅を2L、厚さをT0とするとき、以下の関係を満足することを特徴とする光走査装置。 T0<T<L・sinθmax-T0/2

IPC (1件)：

G02B26/10

FI (2件)：

G02B26/10 104Z , B41J3/00 D

Fターム (5件)：

2C362BA18 , 2H045AB06 , 2H045AB08 , 2H045AB34 , 2H045AB72

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-343318
光スキャナとその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-205707 出願人：日本電気株式会社
光スキャナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-239665 出願人：キヤノン株式会社

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