特許
J-GLOBAL ID：200903052273484782
透明材料内部の処理方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-149931
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340579
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：
【要約】【課題】数mm以上のワーキングディスタンスをとることのできる開口数の比較的小さい集光レンズを用いてフェムト秒レーザー光を透明材料内部に集光するようにしても、集光点における改質形状や加工形状などの処理形状として、フェムト秒レーザー光のビームの進行方向に平行する方向の断面の形状が真円に近いものを得ることができるようにする。【解決手段】フェムト秒レーザーから出射されるレーザー光のビームの進行方向に直交する方向の断面のビーム形状を所定の形状に成形し、上記進行方向に直交する方向の断面のビーム形状を上記所定の形状に成形したレーザー光をレンズに入射して該レンズにより透明材料の内部に集光し、上記透明材料の内部に集光したレーザー光の作用により上記透明材料の内部を処理する。
請求項（抜粋）：
フェムト秒レーザーから出射されるレーザー光のビームの進行方向に直交する方向の断面のビーム形状を所定の形状に成形し、前記進行方向に直交する方向の断面のビーム形状を前記所定の形状に成形したレーザー光をレンズに入射して該レンズにより透明材料の内部に集光し、前記透明材料の内部に集光したレーザー光の作用により前記透明材料の内部を処理する透明材料内部の処理方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B23K 26/00 G
, B23K 26/06 A
, B23K 26/06 E
4E068CA03
, 4E068CD01
, 4E068CD10
, 4E068CD14
, 4E068DB00
