特許

J-GLOBAL ID：200903052276947112

移動ステージ装置、移動ステージの移動方法及び露光装置

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-235144
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079639
出願日： 2002年08月12日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】高精度と高速を両立させ、単振動のない加速手段を提供する。【解決手段】ステージ3と、該ステージ3を第1の方向に加速減速するための反発磁石ユニットRMUと、ステージ3の位置を高精度に制御するための磁気駆動手段とを有し、反発磁石ユニットRMUは、第1の方向と直交する方向に沿って異なる極を互いに対面させ間隙を空けて複数の磁石を組み込んだ(組磁石としての)反発固定子35と、該反発固定子35の前記間隙に挿脱自在に挿入され該反発固定子35に対し同じ極を対面させて配置される挿入磁石としての反発可動子33とを有し、これらの一方を固定側とし他方を可動側とし、ストロークの両端に固定側磁石を配置し、対応する可動側磁石をステージ3に設けた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の方向に移動可能なステージと、 当該ステージを第一の方向に加速減速するための磁石反発力発生手段と、 当該ステージの位置を高精度に制御するための磁気駆動手段を有し、 当該磁石反発力発生手段は、 第1の方向と直交する方向に沿って異なる極を互いに対面させ間隙を空けて複数の磁石を組み込んだ組磁石と、該組磁石の前記間隙に挿脱自在に挿入され該組磁石に対し同じ極を対面させて配置される挿入磁石を有し、 該組磁石及び挿入磁石の一方を固定側とし他方を可動側とした反発磁石ユニットであって、 ストロークの両端に固定側磁石を配置し、固定側磁石と対応する可動側磁石をステージに設けたことを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  H02K33/00 ,  H02K41/03

FI (4件)：

H01L21/30 503A ,  H02K33/00 A ,  H02K41/03 A ,  H01L21/30 515F

Fターム (31件)：

5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5F046CC18 ,  5H633BB08 ,  5H633HH02 ,  5H633HH03 ,  5H633HH05 ,  5H633HH09 ,  5H633HH14 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB17 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG06 ,  5H641GG07 ,  5H641GG12 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH06 ,  5H641HH20 ,  5H641JA05 ,  5H641JA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-283712   出願人：キヤノン株式会社
• アクチュエ-タおよび変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-317171   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ