特許

J-GLOBAL ID：200903052289311446

欠陥検査分類装置

発明者： 高山 真人 ,  大川内 浩喜
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-135979
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315792
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】 検査対象物を撮像し、欠陥を含んだ画像を出力するとともに、欠陥部位を抽出し、同様の特徴情報でグループ化されたデータベースと比較して欠陥分類情報を出力する欠陥検査分類装置において、とくに基板上における塵埃の付着か傷かの区別が容易につき、あるいはまたリペアのためのレーザ照射量を確実に予測することが可能な欠陥検査分類装置を提供する。 【解決手段】 検査対象物12を対物レンズ14およびイメージセンサ15によって撮像し、欠陥を含んだ検出画像16を出力し、欠陥部位を抽出し、特徴情報を数値化し、同様の特徴情報でグループ化されたデータベースと比較して欠陥分類コード25を出力する欠陥検査分類装置において、とくに欠陥対象の高さ情報あるいは3次元情報を計測して取得できる共焦点型光学系18、19b、20、21を設ける。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像し、欠陥を含んだ画像を出力するとともに、欠陥部位を抽出し、同様の特徴情報でグループ化されたデータベースと比較し、欠陥分類情報を出力する欠陥検査分類装置において、 検査対象物の3次元情報を出力する光学系を設けたことを特徴とする欠陥検査分類装置。

IPC (5件)：

G01N21/956 ,  G01B11/02 ,  G01M11/00 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66

FI (5件)：

G01N21/956 A ,  G01B11/02 H ,  G01M11/00 T ,  G06T1/00 305A ,  H01L21/66 J

Fターム (38件)：

2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065MM24 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G086EE10 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ18 ,  5B057AA03 ,  5B057BA17 ,  5B057CA13 ,  5B057CB13 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 欠陥分類検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-032910   出願人：ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
• 外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-107932   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-50642号公報
  
• 特開平2-82367号公報