欠陥分類検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-032910
公開番号（公開出願番号）：特開2003-233801
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】高い分類精度を有する欠陥分類検査装置を提供する。【解決手段】撮像装置20により検査対象物を撮像し、欠陥抽出部50により抽出された欠陥部位の画像の特徴量を特徴抽出部60により抽出して数値化する。そして、データベース作成部70では、作業者により表示/入力部74を介して選択指定された欠陥グループに属する欠陥について、特徴抽出部60により数値化された特徴情報に基づいて欠陥分類部72により類似した特徴をもつ欠陥を再度グループ化して、検査対象物の欠陥を階層的に分類したデータベースをデータベースメモリ77上に作成する。また、分類実行部80では、上記データベース作成部70により与えられるデータベースを参照して、上記欠陥抽出部50により抽出される検査対象物の欠陥部位の画像から、上記特徴抽出部60により抽出される数値化された特徴情報に基づいて、上記検査対象物の欠陥を階層的に分類する。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像し、欠陥のない参照画像と比較することにより欠陥部位の画像を抽出する欠陥抽出部と、上記欠陥抽出部により抽出された欠陥部位の画像の特徴量を抽出して数値化する特徴抽出部と、上記特徴抽出部により数値化された特徴情報に基づいて類似した特徴をもつ欠陥をグループ化する欠陥分類手段と、上記欠陥分類手段によりグループ化された欠陥に分類コードを付与する分類コード付与手段と、上記欠陥分類手段によりグループ化された欠陥の特徴情報を上記分類コード付与手段により付与される分類コードとともにデータベースとして保存する記憶手段と、上記グループ化され分類コードが付与された各欠陥グループから次階層のデータベースを作成する欠陥グループを選択指定する選択指定手段とを備え、上記選択指定手段により選択指定された欠陥グループに属する欠陥について、上記特徴抽出手段により数値化された特徴情報に基づいて上記欠陥分類手段により類似した特徴をもつ欠陥を再度グループ化して、検査対象物の欠陥を階層的に分類したデータベースを作成するデータベース作成部と、上記データベース作成部により与えられるデータベースを参照して、上記欠陥抽出部により抽出される検査対象物の欠陥部位の画像から、上記特徴抽出部により抽出される数値化された特徴情報に基づいて、上記検査対象物の欠陥を階層的に分類する分類実行部とを備えることを特徴とする欠陥分類検査装置。

IPC (5件)：

G06T 1/00 305 , G01N 21/956 , G06F 17/30 170 , G06F 17/30 210 , G06T 7/00 300

FI (5件)：

G06T 1/00 305 A , G01N 21/956 A , G06F 17/30 170 B , G06F 17/30 210 D , G06T 7/00 300 E

Fターム (26件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 2G051ED21 , 5B057AA03 , 5B057CH01 , 5B057CH11 , 5B057DA12 , 5B057DC33 , 5B075ND20 , 5B075ND35 , 5B075NK43 , 5B075NR12 , 5B075UU40 , 5L096BA03 , 5L096DA05 , 5L096JA03 , 5L096JA18

引用特許：

審査官引用 (7件)

ハイブリッドで一様に適用可能な自動欠陥分類法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-219833 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開昭64-088140
試料の欠陥検査システム、および検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-304969 出願人：株式会社日立製作所

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