特許
J-GLOBAL ID：200903052343417751
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
星宮 勝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-380111
公開番号（公開出願番号）：特開2002-183910
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：
【要約】【課題】 磁極幅が小さい場合でも磁極幅を精度よく制御できるようにする。【解決手段】 記録トラック幅を規定するトラック幅規定層12aの形成方法では、まず、記録ギャップ層9の上にめっき用の下地となる下地膜21を形成する。次に、下地膜21の上にめっきのためのフレームを形成する。次に、このフレームを用い、下地膜21を電極としてめっきを行って、下地膜21の上にトラック幅規定層12aを形成する。次に、フレームを除去し、更に、下地膜21のうち、トラック幅規定層12aの下に存在する部分以外の不要な部分をイオンミリング等のドライエッチングを用いて除去する。下地膜21の厚みは、記録トラック幅の0.18倍以下とする。これにより、下地膜21のうちの不要な部分を除去する際に、下地膜21を構成する物質がトラック幅規定層12aの側面に再付着することによる磁極幅の増加を許容範囲内に抑えることが可能になる。
請求項（抜粋）：
記録媒体に対向する媒体対向面と、互いに磁気的に連結され、前記媒体対向面側において互いに対向する磁極部分を含み、それぞれ少なくとも1つの層を含む第1および第2の磁性層と、前記第1の磁性層の磁極部分と前記第2の磁性層の磁極部分との間に設けられたギャップ層と、少なくとも一部が前記第1および第2の磁性層の間に、前記第1および第2の磁性層に対して絶縁された状態で設けられた薄膜コイルとを備えた薄膜磁気ヘッドであって、前記第1の磁性層と第2の磁性層の少なくとも一方は、トラック幅を規定する磁極部分を含むと共にめっき法によって形成されたトラック幅規定層を有し、薄膜磁気ヘッドは、更に、前記トラック幅規定層のめっき用の下地となり、厚みがトラック幅の0.18倍以下である下地膜を備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
FI (2件)：
G11B 5/31 D
, G11B 5/31 C
5D033BA08
, 5D033BA13
, 5D033DA04
, 5D033DA08
, 5D033DA31
