画像入力方法、画像入力装置及び表面欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-269005
公開番号（公開出願番号）：特開2004-108828
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】移動機構を廃し、応答速度向上および消費電力の削減を行ない、また、容易に導入可能な画像入力方法およびその装置、さらには表面の微小凹凸を検出可能な表面欠陥検出装置を提供すること。【解決手段】本発明の画像読取方法は、相対的に移動する被測定物表面に照明手段11により一方向から照明光を照射し、その反射光成分を、部分読み出し可能な二次元光学素子による撮像手段12を用いて取得し、撮像手段12によって取得した二次元画像の前記被測定物10の移動方向にほぼ平行方向の反射光分布から、予め決められた画素選択条件を満たす一画素もしくは二画素以上の隣接画素によりライン画像を求め、このライン画像を主走査画像とし、連続して複数回撮像することにより副走査を行ない、被測定物表面の二次元画像を得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

相対的に移動する被測定物表面に照明手段により一方向から照明光を照射し、その反射光成分を、部分読み出し可能な二次元光学素子による撮像手段を用いて取得し、撮像手段によって取得した二次元画像の前記被測定物の移動方向にほぼ平行方向の反射光分布から、予め決められた画素選択条件を満たす一画素もしくは二画素以上の隣接画素によりライン画像を求め、このライン画像を主走査画像とし、連続して複数回撮像することにより副走査を行ない、被測定物表面の二次元画像を得ることを特徴とする画像入力方法。

IPC (3件)：

G01N21/892 , G01B11/30 , G06T1/00

FI (4件)：

G01N21/892 A , G01B11/30 A , G06T1/00 300 , G06T1/00 400C

Fターム (38件)：

2F065AA49 , 2F065FF04 , 2F065GG16 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065QQ04 , 2F065QQ13 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2G051AA32 , 2G051AA44 , 2G051AB02 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051DA08 , 2G051EA12 , 2G051EA23 , 2G051EC02 , 2G051ED21 , 5B047AA11 , 5B047AB02 , 5B047BB04 , 5B047BC11 , 5B047BC14 , 5B047BC23 , 5B047CA04 , 5B047CB22 , 5B047DC09 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057BA19 , 5B057BA21 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-048751
特開昭62-039746
欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-051057 出願人：株式会社ニコン

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