特許
J-GLOBAL ID：200903052392459753
マイクロポジショナ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331533
公開番号（公開出願番号）：特開平6-178565
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 ウォブル駆動の持つ高トルクという特徴を活かし、高精度な位置決めが可能なマイクロポジショナを提供する。【構成】 基板14上に円周状に配した電極16a〜16iに順次静電気的に吸引され公転かつ自転するリンク ゙部11と、ヒ ゚エソ ゙ハ ゙イモルフにより微細な駆動が可能なアーム部12とを一体的に構成する。リンク ゙部11は螺旋状の梁13a〜13cにより基板14上に弾性支持される。アーム部12を含む移動板10全体の位置決めをリンク ゙部11の静電駆動により行ない、簡単な構成で微細な位置決め機構を実現でき、駆動の安定性は高い。また摩擦が極めて小さく長寿命化も図れる。
請求項（抜粋）：
リング部とアーム部とを一体的に備えた移動板を、前記リング部の外周に配した複数の電極に順次静電気的に吸着させることで転動させ、前記電極よりも外側に位置する前記アーム部の先端の位置決めを行なうように構成したことを特徴とするマイクロポジショナ。
IPC (2件)：
引用特許：
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