特許
J-GLOBAL ID：200903052428457833

欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明者：
横山 廣一

横山 廣一 について

, 
中島 豊

中島 豊 について


出願人/特許権者：
三菱住友シリコン株式会社

三菱住友シリコン株式会社 について


代理人 (1件)： 工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174233
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365236
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 欠陥の見逃しや、近接した欠陥の画像の重なりを防止して、欠陥計数誤差が低減する。【解決手段】 ウェーハ7の表面を微分干渉顕微鏡で撮影し、画像処理によって表面に観察される欠陥の個数を計数する欠陥検査方法である。撮影画像中で輝度が変化する点を基に欠陥を検出する。撮影画像に対して空間フィルタを適用して輝度が変化する部分を強調し、当該強調した部分を2値化することによって近接した欠陥も重なることなく検出し、その検出した部分の特徴量を基に欠陥かノイズかを判別して欠陥個数を計数する。欠陥検査装置1は、上記機能を有する境界強調部12、欠陥検出部13及び欠陥計数部14からなる。
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面を微分干渉顕微鏡で撮影し、画像処理によって表面に観察される欠陥の個数を計数する欠陥検査方法において、撮影画像中で輝度が変化する点を基に欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/00 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G02B 21/00 ,  G06T 1/00 305 A ,  H01L 21/66 J
Fターム (57件)：
2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ32 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CC07 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED21 ,  2H052AA05 ,  2H052AF02 ,  2H052AF25 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CB19 ,  4M106CB20 ,  4M106DB04 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE03 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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