特許
J-GLOBAL ID：200903052463859693

回路基板検査装置

発明者：
佐藤 義典

佐藤 義典 について


出願人/特許権者：
日置電機株式会社

日置電機株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-197430
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014134
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 静電容量測定による検査の信頼性を向上させる。【解決手段】 回路基板Pの導体パターンに接触可能な接触型プローブ4,5を備え、接触型プローブ4,5を相互に絶縁されている導体パターンに接触させて各導体パターンおよび基準電極2b間の静電容量を測定し、測定した各静電容量に基づいて各導体パターンの良否を検査する回路基板検査装置1において、各導体パターンにそれぞれ接触させた状態の接触型プローブ4,5間に検査用交流信号を供給すると共にその状態において接触型プローブ4,5間に流れる電流の電流値、検査用交流信号の電圧値、並びに検査用交流信号の電圧位相および電流位相間の位相差の少なくとも1つに基づいて特定される測定パラメータを測定する測定部6と、その測定パラメータおよび所定の基準値を比較して導体パターンに対する接触型プローブ4,5の接触状態を判別する判別部8とを備えている。
請求項（抜粋）：
検査対象の回路基板に形成された導体パターンに接触可能な接触型プローブを少なくとも一対備え、当該一対の接触型プローブを相互に絶縁されている一対の前記導体パターンに接触させて当該各導体パターンおよび基準電極間の静電容量をそれぞれ測定し、その測定した各静電容量に基づいて当該各導体パターンの良否を検査可能に構成された回路基板検査装置において、前記各導体パターンにそれぞれ接触させた状態の前記一対の接触型プローブ間に検査用交流信号を供給すると共にその状態において当該一対の接触型プローブ間に流れる電流の電流値、当該供給した検査用交流信号の電圧値、並びに当該検査用交流信号の電圧位相および電流位相間の位相差の少なくとも1つに基づいて特定される測定パラメータを測定する測定部と、その測定パラメータおよび所定の基準値を比較してその比較結果に基づいて前記導体パターンに対する前記一対の接触型プローブの接触状態を判別する判別部とを備えていることを特徴とする回路基板検査装置。
IPC (4件)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H05K 3/00
FI (4件)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 E ,  H05K 3/00 T ,  G01R 31/28 K
Fターム (20件)：
2G011AA01 ,  2G011AC09 ,  2G011AE01 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G014AC12 ,  2G014AC17 ,  2G014AC18 ,  2G032AC03 ,  2G032AD08 ,  2G032AE08 ,  2G032AE10 ,  2G032AE11 ,  2G032AF02 ,  2G032AG01 ,  2G032AH03 ,  2G032AK03 ,  2G032AL02
引用特許：
審査官引用 (14件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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