特許

J-GLOBAL ID：200903052485532965

吸着パッド

発明者： 山中 聡 ,  村上 友孝
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347601
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145473
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハ等の板状物を吸着して搬送する吸着パッドの軽量化を図ることにより、当該吸着パッドを支持する移動アーム等に撓みや故障等が生じるのを未然に防止する。【解決手段】 板状物を吸引保持する吸引部7と、吸引部を囲繞する枠体8とを少なくとも備えた吸着パッド1において、吸引部7及び枠体8をポーラスセラミックスにより形成し、枠体8にはエアーのリークを阻止する遮蔽膜8aをコーティングする。

請求項（抜粋）：

板状物を保持する吸着パッドであって、板状物を吸引保持する吸引部と、該吸引部を囲繞する枠体とを少なくとも備え、該吸引部及び該枠体はポーラスセラミックスにより形成され、該枠体にはエアーのリークを阻止する遮蔽膜がコーティングされる吸着パッド。

IPC (3件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 15/06 H ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 B

Fターム (21件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FT17 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031MA22 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 真空吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315078   出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ
• ロボットハンド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-356300   出願人：株式会社東京精密