水性感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：湯浅恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193528
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328251
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】現在商業的に使用されている溶剤型の感光性樹脂組成物と同等又はそれ以上の、十分に満足のいくレジスト性能を有した、希アルカリ水溶液で現像可能な水性の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明に係る水性の感光性樹脂組成物は、(a)カルボキシル基を含有する高分子化合物の水性エマルジョン;(b)光重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物;及び(c)活性光照射により遊離ラジカルを発生し得る光重合開始剤;を必須成分として含有し;(a)成分の高分子化合物の重量平均分子量が1,000から50,000の範囲内であり、その酸価が40〜140mg-KOH/gの範囲内であり、且つそのガラス転移温度が50〜200°Cの範囲内であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(a)カルボキシル基を含有する高分子化合物の水性エマルジョン;(b)光重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物;及び(c)活性光照射により遊離ラジカルを発生し得る光重合開始剤;を必須成分として含有し;(a)成分の高分子化合物の重量平均分子量が1,000から50,000の範囲内であり、その酸価が40〜140mg-KOH/gの範囲内であり、且つそのガラス転移温度が50〜200°Cの範囲内であることを特徴とするものである、希アルカリ水溶液で現像可能な水性の感光性樹脂組成物。

IPC (12件)：

G03F 7/033 , C08F 2/22 MBL , C08F 2/38 MCJ , C08F 2/48 MDM , C08F265/06 MQM , C08L 33/02 LHR , C08L101/08 LTB , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/085 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (12件)：

G03F 7/033 , C08F 2/22 MBL , C08F 2/38 MCJ , C08F 2/48 MDM , C08F265/06 MQM , C08L 33/02 LHR , C08L101/08 LTB , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/085 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-153276
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-288351 出願人：ダブリュー・アール・グレース・アンド・カンパニー-コーン
メタクリル系樹脂の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-094675 出願人：住友化学工業株式会社

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