特許

J-GLOBAL ID：200903052528004674

基板洗浄装置

発明者： 石川 誠二
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187940
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007662
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】【課題】 小型化が可能で設置面積が小さくてすみ、且つ部品等の交換・洗浄等のメンテナンスが容易な基板洗浄装置を提供する。【解決手段】 上段洗浄ユニット10と下段洗浄ユニット50を上下2段に配置し、上段洗浄ユニット10は基板保持機構11、駆動機構12を具備し、下段洗浄ユニット50は基板保持機構52、駆動機構53を具備し、上段洗浄ユニット10はヒンジ51を介して上方に跳ね上げることができる。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持機構と該基板保持機構を駆動する駆動機構を具備する洗浄ユニットを上下2段に配置したことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 644 ,  H01L 21/304 648 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 644 C ,  H01L 21/304 648 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007CY36 ,  3C007CY37 ,  3C007EW16 ,  3C007HS14 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007MS15 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031GA43 ,  5F031MA23 ,  5F031PA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-138665   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 洗浄設備及び洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-088876   出願人：株式会社荏原製作所