特許
J-GLOBAL ID：200903052567533358

光駆動型集積化学システム

発明者：
池原 毅

池原 毅 について

, 
田中 誠

田中 誠 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-222029
公開番号（公開出願番号）：特開2002-036196
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：
【要約】【課題】 1つの基板上に多数の流路を形成した集積化学システムに使用するバルブを、高電圧や高温を必要とせず、電気配線の必要のないバルブを用いることにより高集積化を可能とする。【解決手段】 例えば、ポリシリコン薄膜からなる可動膜の中央部表面に、ポリジアセチレン(PDA)薄膜を蒸着により形成する。この可動膜の縁部をシリコン製の板上に固定し、中央部は自由に変形できるようにする。この可動膜で流路の開閉を行うバルブを構成し、このバルブ3を図1の基板1上に形成した流路の任意の位置に配置する。各バルブ3に対してレーザ照射手段6で2種類の光を照射し、そのレーザ光はミラー7の傾き調整により、任意のバルブに照射して任意の流路を構成する。また、光応答性物質としては、例えばPLZT等の1つの光の照射と非照射で形状が変化するものを用い、パルス光で作動させても良い。
請求項（抜粋）：
光を照射することで可逆的に変形する光応答性物質を用いて前記変形により弁体を駆動するバルブを構成し、前記バルブを基板上に設けた流路に配置するとともに、前記バルブの光応答性物質に光を照射する光照射手段を設けたことを特徴とする光駆動型集積化学システム。
IPC (6件)：
B81B 3/00 ,  G01N 35/10 ,  G01N 37/00 101 ,  F16K 7/14 ,  F16K 31/00 ,  G01N 35/08
FI (6件)：
B81B 3/00 ,  G01N 37/00 101 ,  F16K 7/14 A ,  F16K 31/00 ,  G01N 35/08 A ,  G01N 35/06 D
Fターム (9件)：
2G058EA14 ,  2G058EC07 ,  3H062AA02 ,  3H062AA12 ,  3H062BB30 ,  3H062BB33 ,  3H062CC29 ,  3H062HH02 ,  3H062HH10
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 特開平2-225049
  • 特開平4-164581
  • 特開昭62-055967
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審査官引用 (3件)
  • 特開平2-225049
  • 特開平4-164581
  • 特開昭62-055967

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