特許
J-GLOBAL ID：200903052569821989
リッジ型光導波路素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021955
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206810
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 強誘電体単結晶基板にリッジ側面が垂直で十分なリッジ高さのリッジ型光導波路を形成したリッジ型光導波路素子を得る。【解決手段】 強誘電体単結晶基板31の自発分極を有する結晶方位に垂直な基板面にリッジ型光導波路を形成する場合において、前記リッジ型光導波路のパターンに対応した第1の基板領域31a,31bと残りの第2の基板領域31c,31d,31eの分極方向が互いに反転するように前記強誘電体単結晶基板31に分極反転処理を施し、分極反転処理後の強誘電体単結晶基板31をエッチング液を用いたウエットエッチング処理で前記第2の基板領域31c,31d,31eを所要の厚さで除去することにより前記第1の基板領域31a,31bをリッジ型に残してリッジ型光導波路32を形成している。
請求項（抜粋）：
強誘電体単結晶基板の自発分極を有する結晶方位に垂直な基板面にリッジ型光導波路を形成してなるリッジ型光導波路素子であって、前記リッジ型光導波路の側面が前記基板面に垂直でかつ前記強誘電体単結晶基板の分極反転の境界から立ち上がっていることを特徴とするリッジ型光導波路素子。
引用特許：
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