特許
J-GLOBAL ID:200903052586332940
ネガ型感光性熱硬化性樹脂組成物、ネガ型感光性熱硬化性転写材料、層間絶縁膜の形成方法、ハイアパーチャー型液晶表示装置及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-324220
公開番号(公開出願番号):特開2002-131899
出願日: 2000年10月24日
公開日(公表日): 2002年05月09日
要約:
【要約】【課題】 均一厚であって、絶縁性及びコンタクトホールの形状精度に優れ、実質的に無色透明で保存安定性、耐溶剤性に優れた層間絶縁膜を安定的に形成し得るネガ型感光性熱硬化性転写材料及びハイアパーチャー型液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 信号線とスイッチング装置を覆う層間絶縁膜と画素電極を有するアクティブマトリクス基板と対向基板と該両基板に介在する液晶層とを備えるハイアパーチャー型液晶表示装置の製造方法において、前記層間絶縁膜が感光性熱硬化性樹脂層を有するネガ型感光性熱硬化型転写材料の該感光性熱硬化性樹脂層をラミネート法により転写して形成されることを特徴とする。該製造方法に用いられ、付加重合可能な化合物と光重合開始剤とアルカリ可溶性樹脂と非揮発性酸を発生する化合物と酸で架橋可能な架橋剤とを含有するネガ型感光性熱硬化性樹脂組成物を含むネガ型感光性熱硬化性転写材料である。
請求項(抜粋):
透明基板上に、制御信号を伝送するゲート信号線と、該ゲート信号線と交差し、映像信号を伝送するソース信号線と、信号線の交差部に、前記信号線に接合して割り当てられ配列形成されたスイッチング装置と、該スイッチング装置及び信号線を覆う層間絶縁膜とを備えるハイアパーチャー型アクティブマトリックス基板の形成に用いられるネガ型感光性熱硬化性樹脂組成物であって、(A)少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する付加重合可能な化合物と、(B)光重合開始剤と、(C)カルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂と、(D)光及び/又は熱により非揮発性酸を発生する化合物と、(E)酸で架橋可能な架橋剤とを含有することを特徴とするネガ型感光性熱硬化性樹脂組成物。
IPC (10件):
G03F 7/004 511
, G03F 7/004 501
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F291/00
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1343
, G02F 1/1368
, G03F 7/40 501
, H01L 21/312
FI (10件):
G03F 7/004 511
, G03F 7/004 501
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F291/00
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1343
, G03F 7/40 501
, H01L 21/312 D
, G02F 1/136 500
Fターム (92件):
2H025AB11
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025BE00
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025CB43
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H025FA30
, 2H090HA04
, 2H090HB13X
, 2H090HB17X
, 2H090HC06
, 2H090HC12
, 2H090HD03
, 2H090HD06
, 2H090LA04
, 2H092JA24
, 2H092JA46
, 2H092JB57
, 2H092KB24
, 2H092KB25
, 2H092MA15
, 2H092MA18
, 2H092NA07
, 2H092NA17
, 2H092NA19
, 2H096AA25
, 2H096AA27
, 2H096BA05
, 2H096CA16
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 4J011PA24
, 4J011PA40
, 4J011PA45
, 4J011PA53
, 4J011PA65
, 4J011PA67
, 4J011PA69
, 4J011PA70
, 4J011PB19
, 4J011PB40
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA17
, 4J011QA19
, 4J011QA22
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QA26
, 4J011QB14
, 4J011QB19
, 4J011QB24
, 4J011RA02
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011RA09
, 4J011RA12
, 4J011SA65
, 4J011SA78
, 4J011UA01
, 4J011UA03
, 4J011UA04
, 4J011WA01
, 4J026AA02
, 4J026AA17
, 4J026AA30
, 4J026AA43
, 4J026AA45
, 4J026AA49
, 4J026AA54
, 4J026BA27
, 4J026BA28
, 4J026BA32
, 4J026BA50
, 4J026DB15
, 4J026DB36
, 4J026GA07
, 5F058AA05
, 5F058AA10
, 5F058AB07
, 5F058AC07
, 5F058AF10
, 5F058AG01
, 5F058AG10
引用特許:
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