特許
J-GLOBAL ID：200903052712814697

微小機械およびその製造方法

発明者：
岩崎 靖和

岩崎 靖和 について


出願人/特許権者：
日産自動車株式会社

日産自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067598
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261806
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】可動部が固定部に接触した際の付着、可動部がベンディングを受けた際の破壊、可動部が薬品やガスで処理された際の粒界腐食や粒界割れ等の問題を解決する。【解決手段】可動部311が単結晶シリコンで、固定部(基板300)には可動部が固定部に接触する際の接触面積を低減する凸部307が設けられている微小機械。上記凸部が、可動部の底部表面が固定部の最外表面と接触する際に、その接触面積を低減することにより、付着する傾向を低減する。また可動部の底面と上面が凸凹のない平坦な面で形成されるので、可動部がベンディングを受けた際の応力集中による破損を低減できる。また可動部に粒界が無く、転位や欠陥の少ない単結晶シリコンで形成されるので、可動部が外力でベンディングを受けた際の応力集中による破損を低減し、かつ可動部が薬品やガスで処理された際の粒界腐食や粒界割れを免れることができる。
請求項（抜粋）：
可動部と、前記可動部に対向する固定部を有する微小機械において、前記可動部が単結晶シリコンであって、前記固定部には、前記可動部が前記固定部に接触する際の接触面積を低減せしめる凸部が設けられていることを特徴とする微小機械。
IPC (3件)：
H01L 29/84 ,  G01P 15/12 ,  H01L 27/12
FI (3件)：
H01L 29/84 Z ,  G01P 15/12 ,  H01L 27/12 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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