特許
J-GLOBAL ID：200903052791615718
樹脂組成物、そのフィルム及びその硬化物
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362384
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174668
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】水又は希アルカリ水溶液で現像ができ、パターン精度及びその断面形状が良好で、後工程で現像液や有機溶剤との接触があってもパターンの剥離がなく、加熱焼成後の有機物の残渣が少なく、密着性に優れた樹脂組成物、フィルムおよびその硬化物を提供する。【解決手段】紫外線硬化性樹脂(A)、光重合開始剤(C)、機能性無機粉末(D)及び熱硬化性樹脂(E)を含有する現像性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
紫外線硬化性樹脂(A)、光重合開始剤(C)、機能性無機粉末(D)及び熱硬化性樹脂(E)を含有する現像性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08L101/00
, G03F 7/032
, G03F 7/038
, H01J 9/02
, H01J 9/227
, H05K 3/00
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08L101/00
, G03F 7/032
, G03F 7/038
, H01J 9/02 H
, H01J 9/02 F
, H01J 9/227 E
, H05K 3/00 F
