特許
J-GLOBAL ID:200903052796262546

形状測定方法および形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 香山 秀幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-206864
公開番号(公開出願番号):特開2000-039310
出願日: 1998年07月22日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】【課題】 この発明は、特別な走査メカニズムを用いることなく自由度の高い走査を実現でき、複雑な形状をもつ被測定物の形状を測定できるようになる形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 測定者によって自由に移動せしめられる測定ヘッドを用いて、測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を求める第1ステップ、ワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報を求める第2ステップ、および第2ステップで求めたワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報に基づいて、第1ステップで求めた測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を、ワールド座標系の座標に変換する第3ステップを備えている。
請求項(抜粋):
測定者によって自由に移動せしめられる測定ヘッドを用いて、測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を求める第1ステップ、ワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報を求める第2ステップ、および第2ステップで求めたワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報に基づいて、第1ステップで求めた測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を、ワールド座標系の座標に変換する第3ステップ、を備えている形状測定方法。
IPC (3件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06
FI (3件):
G01B 11/24 C ,  G01B 11/00 H ,  G01C 3/06 V
Fターム (25件):
2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF05 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG09 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ13 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM13 ,  2F065MM23 ,  2F065PP03 ,  2F065PP22 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2F112AC02 ,  2F112AC03 ,  2F112AC06 ,  2F112BA09 ,  2F112CA08
引用特許:
審査官引用 (3件)

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