特許
J-GLOBAL ID：200903052808017569
防着カバー、物質生成装置、及び被処理物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-097550
公開番号（公開出願番号）：特開2005-281773
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 物質生成装置内の不要な堆積物との密着性が高くメンテナンスの容易な防着カバー、高純度で均一且つ均質な生成物を生成する物質生成装置、及び高純度で均一且つ均質な被処理物を提供する。【解決手段】 本発明に係る防着カバー8は、不要な堆積物を付着させる防着面がゴム状弾性体から形成され、この防着面が堆積物との高い密着性を有するから、前記堆積物が防着面から剥離することがなく、前記防着カバー8が配設される装置内の生成物又は生成ガスへ前記堆積物が混入することを防止できる。従って、防着カバーが配設される装置内を清浄に保持することができ、高純度で均一且つ均質な生成物を生成する物質生成装置、及び高純度で均一且つ均質な被処理物を提供することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
不要な堆積物を付着させる防着カバーにおいて、前記防着カバーが堆積物を付着する防着面を有し、少なくとも前記防着面がゴム状弾性体から形成されることを特徴とする防着カバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/00 B
, C23C16/44 J
4K029BA34
, 4K029BD05
, 4K029CA03
, 4K029DA10
, 4K029DD06
, 4K030KA12
, 4K030KA47
