走査型光学顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394934
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196246
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】軸外での性能劣化が少なく、波面変換素子の制御方法が簡単で、瞳リレー光学系の構成が簡単か不要な波面変換素子を用いた走査型光学顕微鏡【解決手段】レーザー発振器6と、レーザー発振器6から発するレーザービーム15に任意の波面変換を与える波面変換素子5と、波面変換素子5から発する波面変換後の略平行なレーザービーム17を試料9に集光する対物レンズ7と、試料9から発する信号光を検出する検出器29と、対物レンズ7を光軸と直交する方向に走査するアクチュエーター8とを有するレーザー走査型顕微鏡。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子と、該波面変換素子から発する波面変換後の照明光を試料に集光する対物レンズと、該試料から発する信号光を検出する検出器と、前記対物レンズを光軸と直交する方向に走査するアクチュエーターとを有することを特徴とする走査型光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 21/06 , G02B 27/09

FI (3件)：

G02B 21/00 , G02B 21/06 , G02B 27/00 E

Fターム (5件)：

2H052AA07 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC34

引用特許：

審査官引用 (6件)

顕微鏡におけるアダプティブ光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-214675 出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
走査形の共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-143983 出願人：コベックスコーポレイション
光走査装置およびこれを用いた光走査型共焦点光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-076721 出願人：オリンパス光学工業株式会社, ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ

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