微小金属ボールの配列方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161126
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008272
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】バンプ電極形成用の多数の微小金属ボールを、静電気や湿気によってボール同士またはボールと治具が付着することなく、効率よくテンプレート上の多数の穴に配列させる。【解決手段】導電性液体の浴槽底面に所定の多数の微小穴が形成されたテンプレートを載置し、このテンプレート上面に微小金属ボールを降下させることにより、微小金属ボールのテンプレートの穴への配列が円滑に行われることを特徴とする。さらに、浴槽に対し振動または揺動のうち少なくともいずれか一方を加えることが追加されるものが好ましい。また、導電性液体の浴槽中にテンプレートを水平に、または傾斜させて固定して、このテンプレート上面に微小金属ボールを降下させる方法もある。

請求項（抜粋）：

バンプ電極形成用の多数の微小金属ボールを、それぞれテンプレート上に形成された多数の微小穴に配列させる方法において、導電性液体の浴槽底面に前記テンプレートを載置し、該テンプレート上面に前記微小金属ボールを降下させることにより、前記微小金属ボールの前記テンプレートへの配列が円滑に行われることを特徴とする微小金属ボールの配列方法。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 , H01L 21/321 , H01L 23/12

FI (4件)：

H01L 21/60 311 S , H01L 21/92 604 H , H01L 21/92 604 Z , H01L 23/12 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

微小球体整列搭載方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-095768 出願人：株式会社日立製作所
微粒子球形ボールの整列方法及びその整列装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-168181 出願人：アイデックス株式会社, 千住金属工業株式会社, キヤノン電子株式会社, 有限会社エフエイ技研, 株式会社フルヤ金属
微小はんだボールの位置決め方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-138702 出願人：株式会社日立製作所

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