特許
J-GLOBAL ID:200903052855135081
A-B-A型アルケニルフェノール系共重合体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
廣田 雅紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-267317
公開番号(公開出願番号):特開2002-047322
出願日: 2000年09月04日
公開日(公表日): 2002年02月12日
要約:
【要約】【課題】 電子材料、特にレジスト用材料として好適な、単峰性で分子量分布が狭く、且つ、分子量や構造が制御された、アルケニルフェノール類と(メタ)アクリル酸エステル類の新規な共重合体、及びかかるアルケニルフェノール系共重合体の製造法を提供すること。【解決手段】 アルカリ金属又は有機アルカリ金属を重合開始剤とするアニオン重合により、一般式(I)で表される繰り返し単位を含む成分からなるジアニオンを合成し、塩化リチウムの存在下、一般式(IV)で表される(メタ)アクリル酸エステル誘導体と共重合を行い、さらに酸性化合物と接触させることにより、スチレン誘導体による重合体セグメント[B]、及びアクリル酸誘導体による重合体セグメント[A]がA-B-A型でブロック結合したアルケニルフェノール系共重合体を得る。【化1】【化2】
請求項(抜粋):
一般式(I)【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2はC1〜C5のアルキル基を表し、mは0、1又は2を表し、mが2の場合、R2は同一又は相異なっていてもよい)で表される繰り返し単位(B1)を含む成分(B)、及び一般式(II)【化2】(式中、R3は水素原子又はメチル基を表し、R4は水素原子、C1〜C12のアルキル基、C3以上の脂環式骨格を有する炭化水素基、又はヘテロ環基を表す)で表される繰り返し単位を含む成分(A)がA-B-A型にブロック結合し、分子量分布が狭くかつ単峰性であることを特徴とするアルケニルフェノール共重合体。
IPC (3件):
C08F297/02
, C08F 8/12
, G03F 7/039 601
FI (3件):
C08F297/02
, C08F 8/12
, G03F 7/039 601
Fターム (37件):
2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025BE00
, 2H025BE07
, 2H025BF02
, 2H025BF15
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025FA17
, 4J026HA06
, 4J026HA08
, 4J026HA25
, 4J026HA26
, 4J026HA39
, 4J026HB06
, 4J026HB08
, 4J026HB11
, 4J026HB25
, 4J026HB26
, 4J026HB39
, 4J026HB45
, 4J026HC11
, 4J026HC25
, 4J026HC26
, 4J026HC39
, 4J026HC45
, 4J026HE02
, 4J100BA03H
, 4J100HA08
, 4J100HB25
, 4J100HB26
, 4J100HB52
, 4J100HC27
, 4J100HC71
, 4J100HE14
, 4J100HG01
, 4J100JA38
引用特許:
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