弾性表面波センシングシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-357296
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121498
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】センサ部の小型化を図りながら、測定対象物の外部環境の変化を高精度に検出することができる弾性表面波センシングシステムを提供する。【解決手段】圧電基板41上に送受信電極42と反射器43とを形成してなる弾性表面波素子部23において、励起した弾性表面波SAWを送受信電極42と反射器43との間で多重に反射させ、その一次反射信号と二次反射信号との信号差から、外部環境の変化を検出するようにする。これにより、反射器を複数配置することなく、センサ部と問合せ器との間の距離の影響を受けずに精度の高いセンシングシステムを構築できると共に、弾性表面波素子部23の縮小化が図られ、センサ部の小型化を実現することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

測定対象物に取り付けられ弾性表面波素子を備えたセンサ部と、このセンサ部に対して駆動信号を発信する駆動信号発信手段および前記センサ部からの応答信号を受信して信号処理を行う信号処理手段を備えた問合せ器とを有し、前記弾性表面波素子が、前記問合せ器からの駆動信号を受けて弾性表面波を励起させる送受信用電極と、前記発生した弾性表面波を前記送受信用電極に向けて反射する反射器とをそれぞれ圧電材料表面に形成してなる弾性表面波センシングシステムにおいて、前記信号処理手段は、前記送受信用電極と前記反射器との間における弾性表面波の複数回の反射による反射信号を検出し、その各々の信号差に基づいて、前記測定対象物の外部環境の変化を検出することを特徴とする弾性表面波センシングシステム。

IPC (3件)：

G01K7/32 , G01H11/08 , G01L1/00

FI (3件)：

G01K7/32 S , G01H11/08 D , G01L1/00 L

Fターム (3件)：

2G064AB09 , 2G064BD02 , 2G064CC46

引用特許：

出願人引用 (3件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-087239 出願人：富士電機株式会社
表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-052615 出願人：アルプス電気株式会社
弾性表面波フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-047554 出願人：日本電気株式会社

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