表面弾性波素子

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-052615
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261572
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】耐電力性が向上した上に、共振周波数f及び共振周波数差Δfが任意の値に制御可能であり、SAW共振器を設計する際の自由度が大きく、その結果、表面弾性波フィルタとして用いた場合の通過帯域及び阻止帯域の減衰量を制御することが容易な表面弾性波素子を提供する。【解決手段】 Si基板11上に、ダイヤモンド層12、金属層13及びZnO層14が積層され、ZnO層14上に一対の対向する櫛型電極15、16からなるSAW共振器17及びグレーティング反射器21、22が形成され、これらの上にSiO2層23が形成され、励振される表面弾性波の波長をλとした場合のZnO層14の規格化膜厚(2π/λ×HZnO)を0.5を超えかつ1.3以下、SiO2層23の規格化膜厚(2π/λ×HSiO2)を0を超えかつ1.0以下としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に、硬質層及び圧電体層が積層され、該圧電体層上に一対の櫛型電極が対向配置され、これら圧電体層及び一対の櫛型電極上に二酸化珪素層が形成された表面弾性波素子において、励振される表面弾性波の波長をλとした場合の前記圧電体層の規格化膜厚(2π/λ×HZnO)を0.5を超えかつ1.3以下とし、前記二酸化珪素層の規格化膜厚(2π/λ×HSiO2)を0を超えかつ1.0以下としたことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 , H03H 9/25

FI (2件)：

H03H 9/145 D , H03H 9/25 C

Fターム (9件)：

5J097AA13 , 5J097AA26 , 5J097BB11 , 5J097EE08 , 5J097EE10 , 5J097FF02 , 5J097FF05 , 5J097FF08 , 5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-222475 出願人：住友電気工業株式会社
表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-021598 出願人：住友電気工業株式会社
弾性表面波装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-335160 出願人：国際電気株式会社

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