特許
J-GLOBAL ID：200903052876142789
合成ダイヤモンド膜の成長方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339642
公開番号（公開出願番号）：特開平9-169596
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 熱膨張率がダイヤモンド膜のそれと十分合致していない基材上にダイヤモンド膜をコーティングとして成長させるための方法と装置を提供する。【解決手段】 基材110に予備応力を加えてその表面を横切る成長前応力125を得、この予備応力を加えた基材表面にダイヤモンド膜120を成長させ、そして当該膜120と基材110を冷却し、この冷却の際に上記成長前応力125を除去する。
請求項（抜粋）：
基材上に合成ダイヤモンド膜を成長させるための方法であって、基材に予備応力を加えてその表面を横切る成長前応力を得る工程、この予備応力を加えた基材表面にダイヤモンド膜を成長させる工程、そして当該膜と基材を冷却し、この冷却の際に上記成長前応力を除去する工程、を含む合成ダイヤモンド膜成長方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/04 X
, C23C 16/26
