特許
J-GLOBAL ID:200903052901117131

カーボンナノチューブパターンの形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 中村 智廣 ,  成瀬 勝夫 ,  小泉 雅裕 ,  青谷 一雄 ,  鳥野 正司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-255667
公開番号(公開出願番号):特開2006-069848
出願日: 2004年09月02日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】 機械的強度が強く、下地層や基板との密着性が高く、表面で導電性をもち、さらに下地層や基板との間でも導電性をもつ、カーボンナノチューブパターンを容易に形成する方法を提供する。【解決手段】 カーボンナノチューブが分散媒に分散したカーボンナノチューブ分散液にて基板表面に所望のパターンを印刷し、分散媒を蒸発させてパターン層を形成するパターニング工程と、パターン層を基板表面に固定するパターン固定工程とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブパターンの形成方法。パターン固定工程は、感光性有機材料をパターン層内に含浸させる工程と、感光性有機材料が含浸したパターン層を露光する工程と、パターン層表面の感光性有機材料を除去してカーボンナノチューブをパターン層表面に露出させる工程と、パターン層内部の感光性有機材料を硬化させる工程と、を含むことが好ましい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
カーボンナノチューブが分散媒に分散したカーボンナノチューブ分散液にて基板表面に所望のパターンを印刷し、前記分散媒を蒸発させてパターン層を形成するパターニング工程と、前記パターン層を前記基板表面に固定するパターン固定工程とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブパターンの形成方法。
IPC (2件):
C01B 31/02 ,  H01B 13/00
FI (2件):
C01B31/02 101F ,  H01B13/00 503D
Fターム (26件):
4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AC02B ,  4G146AC20B ,  4G146AC23B ,  4G146AD15 ,  4G146AD22 ,  4G146AD26 ,  4G146AD28 ,  4G146BA04 ,  4G146CB02 ,  4G146CB06 ,  4G146CB10 ,  4G146CB11 ,  4G146CB13 ,  4G146CB14 ,  4G146CB23 ,  4G146CB35 ,  4G146CB37 ,  5G323CA05 ,  5H027AA02 ,  5H027BA13 ,  5H050CB07 ,  5H050DA10 ,  5H050EA08 ,  5H050FA16
引用特許:
出願人引用 (3件)

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