特許
J-GLOBAL ID：200903052915815400
電気めっき用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-051215
公開番号（公開出願番号）：特開2006-233296
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 被めっき物のうち被めっき面以外の部位がめっきされてしまうのを確実に防止でき、性能、信頼性等を向上できるようにした電気めっき用治具を提供する。【解決手段】 第1,第2の絶縁板10,20、内側シール40および外側シール50で取り囲まれた空間部S内の空気を空気吸込み通路60を通じてポンプPで吸い込む。これにより空間部Sを負圧状態に保持し、内側シール40全体を、ウエーハWに対して均一な押付力(面圧)をもって当接させると共に、外側シール50全体を第2の絶縁体20に対して均一な押付力(面圧)をもって当接させる。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
開口部を有する第1の絶縁板と、被めっき物が前記開口部から外部に臨むように当該被めっき物を前記第1の絶縁板との間で挟持する第2の絶縁板と、前記開口部の周縁に位置して前記第1の絶縁板と前記被めっき物との間に介在して設けられた内側シールと、前記被めっき物を外側から取り囲むようにして前記第1の絶縁板と前記第2の絶縁板との間に介在して設けられ、前記被めっき物に通電を行う伝導体と、前記伝導体を外側から取り囲むようにして前記第1の絶縁板と前記第2の絶縁板との間に介在して設けられた外側シールとを備えた電気めっき用治具であって、
前記第1の絶縁板、前記第2の絶縁板、前記内側シールおよび前記外側シールで取り囲まれる空間部を負圧状態に保持するため、前記第1の絶縁板の内部および前記第2の絶縁板の内部のうち少なくともいずれか一方に形成された空気吸込み通路を備えてなることを特徴とする電気めっき用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D17/06 C
, C25D17/08 Q
