特許
J-GLOBAL ID：200903052968417890
塗布装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158271
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001060
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【目的】 狭小部分等でも安定して塗布することができる塗布装置及び方法を提供する。【構成】 ニードルが先端に設けられた塗布流動部の外周部に超音波振動を与えて、この塗布流動部内の塗布液に攪拌作用を与えるための超音波発生部20と、ノズル6a内における塗布液の高さ及びノズル6aと被塗布媒体5上までの距離を測定するための液面管理測定器21と、塗布流動部内に液面管理測定器20の測定結果に応じた大きさの一次加圧を付与して塗布液の高さを調整するための手段としてのシリンジ7と、塗布流動部とニードル7内との間を仕切ってニードル7内に微小空間を作り、この微小空間内に二次加圧を付与してニードル7内の塗布液をノズル6aより吐出させるため手段としての高速微動アクチュエータとを設けた。
請求項（抜粋）：
ニードル内に供給された塗布液をノズルの先端より吐出させて被塗布媒体上に塗布するための塗布装置において、前記ニードルが先端に設けられた塗布流動部の一部または全部の外周部に超音波振動を与えて、前記塗布流動部内の塗布液に攪拌作用を与えるための超音波発生部と、前記ノズル部内における前記塗布液の高さ及び前記ノズル部と前記被塗布媒体上までの距離を測定するための測定手段と、前記塗布流動部内に前記測定手段の測定結果に応じた大きさの一次加圧を付与して前記ノズル部内における前記塗布液の高さを調整するための手段と、前記塗布流動部と前記ニードル内との間を仕切って前記ニードル内に微小空間を作り、この微小空間内に二次加圧を付与して前記ニードル内の塗布液を前記ノズルより吐出させるための手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 5/00 101
, B05B 17/06
, B05C 11/10
, B05D 1/02
, B06B 1/06
