透明導電膜およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122094
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333656
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【構成】基板上に設ける行電極13と、行電極上に設ける絶縁体層14と、絶縁体層上に設ける透明導電膜15からなる画素電極とを備え、透明導電膜は酸化インジウムスズと酸化チタニウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化アンチモンの少なくとも1つ以上を含む複合化合物からなる液晶表示装置およびその製造方法。【効果】透明導電膜は安定に均一に非晶質化することでエッチング性を向上させMIM素子面積の分布を非常に少なくすることができる。本発明の製造方法により液晶表示装置の表示品質が向上し、量産上も非常に有利である。

請求項（抜粋）：

基板上に設ける行電極と、行電極上に設ける絶縁体層と、絶縁体層上に設け透明導電膜からなる画素電極とを備え、透明導電膜は酸化インジウムスズと酸化チタニウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化アンチモンのすくなくとも1つ以上を含む複合化合物からなることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 510 , G02F 1/1343 , H01L 49/02

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-283469
特開平4-277408
高屈折率導電膜、低反射導電膜、およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-154057 出願人：旭硝子株式会社

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