太陽電池の製造方法及び太陽電池並びに半導体装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142406
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233518
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 pn接合の電気的な分離を簡便な方法で実現でき、製造コスト及び生産性を大幅に改善できる構造の太陽電池の製造方法及び太陽電池、並びに窒化シリコン膜または酸化チタン膜を基板表面に有する構造体で、金属ペースト材料を用いた場合の新規な電極形成方法を有する半導体装置の製造方法を得る。【解決手段】 pn接合の電気的な分離を、pn接合のn型拡散層101上にシリコンを溶融せしめる性質を有したガラスを主成分とするガラスペースト104を設けて焼成することにより、ガラスペースト104によりn型拡散層101を浸食させ、アルミ銀ペーストでなるp電極103下のn型拡散層101にアルミを拡散させてp型に反転したp型反転層105を形成し、pn接合の電気的分離を実現する。また、絶縁膜上に金属ペースト材料を設けて焼成することで絶縁膜を貫通し半導体基板と電気的な接触を行えるようにする。

請求項（抜粋）：

発電層となるシリコン層と該シリコン層の表面もしくは表面及び裏面の両面あるいはエッジを含む全面に形成された上記シリコン層とは反対導電型の薄膜層からなるpn接合を有するシリコン太陽電池の製造方法において、上記pn接合上にシリコンを溶融せしめる性質を有したガラスを主成分とする材料を設けて焼成することにより上記pn接合の電気的分離を行う工程を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。

引用特許：

出願人引用 (10件)

太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-238095 出願人：三洋電機株式会社
特開平4-256374
光電変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203158 出願人：シヤープ株式会社

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審査官引用 (10件)

太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-238095 出願人：三洋電機株式会社
特開平4-256374
光電変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203158 出願人：シヤープ株式会社

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