特許
J-GLOBAL ID：200903053045001999

パターン欠陥検査装置

発明者：
渡貫 明男

渡貫 明男 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-022442
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233213
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】スクリーン原版の伸縮により発生した印刷ずれが検出できるパターン欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】基準間隔Lに設定した基準カメラ1と比較カメラ2により検査対象のガラス基板Bを撮像し、基準カメラ1による画像と比較カメラ2による画像の相関から、マスク版の伸縮による印刷ずれを検出するようにしたもの。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
同一ピッチで平行に並んだ複数本の細条からなるパターンが形成されている基板を対象としたパターン欠陥検査装置において、 前記基板の前記パターンの一部を撮像する第1のカメラと、 この第1のカメラから、前記基板の前記複数本の細条が並んでいる方向に沿って所定の基準間隔を隔てて設置され、前記基板の前記パターンの一部とは異なった他の一部を撮像する第2のカメラと、 前記第1のカメラで撮像した第1の画像と前記第2のカメラで撮像した第2の画像の相関を演算する画像処理部とを設け、 前記第1の画像と前記第2の画像の相関値に基づいて前記パターンの欠陥を検査するように構成したことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  H01J9/42 ,  H01J11/02
FI (5件)：
G01N21/956 Z ,  G01B11/30 A ,  G01N21/88 J ,  H01J9/42 A ,  H01J11/02 B
Fターム (25件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065GG17 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR06 ,  2G051AA90 ,  2G051AB11 ,  2G051BA05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB10 ,  2G051EC06 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03 ,  5C040GG09 ,  5C040JA26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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