特許
J-GLOBAL ID：200903053077908791
バンプ形成方法、リペア方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-111085
公開番号（公開出願番号）：特開2003-309139
出願日： 2002年04月12日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：
【要約】【課題】 バンプ形成に際して、歩留まりの向上を図るとともに、確実に半田ボールの搭載ミスや不良バンプをなくす。【解決手段】 半田ボール4をワーク1の各バンプ形成位置2上に一括搭載した後、検査を行い、搭載ミスのあったバンプ形成位置2ごとに半田ボール4の再搭載を行うリペア工程を経て、各バンプ形成位置2上に搭載された半田ボール4を溶融させ、冷却固化させてバンプを形成する。半田ボール4を再搭載するリペア工程では、搭載ミスのあったバンプ形成位置2上に半田ボール4を新たに載せるとともに、そのバンプ形成位置2上に新たに載せられた半田ボール4にレーザ光を照射して溶融させて仮止めする。
請求項（抜粋）：
半田ボールをワークの各バンプ形成位置上に一括搭載する手順と、搭載ミスのあったバンプ形成位置ごとに半田ボールの再搭載を行う手順と、前記各バンプ形成位置上に搭載された半田ボールを溶融させ、冷却固化させてバンプを形成する手順とを有することを特徴とするバンプ形成方法。
引用特許：
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