メモリ集積化を用いる高感度光走査

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-106077
公開番号（公開出願番号）：特開2008-275611
出願日： 2008年04月15日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】自動式光学検査(AOI)の為の改良されたシステムおよび方法、更に、2次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。【解決手段】少なくとも2次元の光センサアレイ40が一体に形成され、それぞれの画像が検査すべき対象物の一部分を表す複数の画像240〜248を提供する集積回路と、複数の画像をデジタル形式で加え合わせ、検査すべき対象物の合成画像を提供する合成画像生成器252と、合成画像を受信し欠陥報告を提供するよう動作する欠陥分析器234と、を備える検査システム。【選択図】図1B

請求項（抜粋）：

少なくとも2次元の光センサアレイが一体に形成され、それぞれの画像が検査すべき対象物の一部分を表す、複数の画像を提供する集積回路と、前記複数の画像をデジタル形式で加え合わせ、前記検査すべき対象物の合成画像を提供する合成画像生成器と、前記合成画像を受信し欠陥報告を提供するよう動作する欠陥分析器と、を備える検査システム。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G06T 1/00 , G06T 3/00 , H05K 13/08 , H05K 3/00

FI (6件)：

G01N21/956 B , G06T1/00 400D , G06T3/00 300 , G06T1/00 305A , H05K13/08 U , H05K3/00 Q

Fターム (39件)：

2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051BA08 , 2G051BC01 , 2G051BC02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051CC09 , 2G051CD03 , 2G051DA07 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA17 , 2G051EA25 , 2G051ED07 , 2G051FA01 , 5B047AA12 , 5B047AB04 , 5B047BA02 , 5B047BB04 , 5B047BC01 , 5B047BC05 , 5B047BC07 , 5B047BC11 , 5B047BC14 , 5B047BC16 , 5B047CB30 , 5B047EA01 , 5B057AA03 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC03 , 5B057CE08

引用特許：

出願人引用 (14件)

米国特許第5,750,985号明細書
米国特許第5,909,026号明細書
米国特許出願公開第10/141,988号明細書

全件表示

審査官引用 (12件)

周期疵検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-339884 出願人：日本鋼管株式会社
電子ディスプレイ装置の画素欠陥検査方法、および、電子ディスプレイ装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-072450 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-061142

全件表示

前のページに戻る