特許
J-GLOBAL ID:200903053111131483
表面波装置及び通信機装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-248903
公開番号(公開出願番号):特開2001-077662
出願日: 1999年09月02日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 精度良くIDTを作製することができ、IDT及び圧電基板における伝搬損失がほぼ0である表面波装置を提供する。【解決手段】 オイラー角(0°,125°〜144°,0°±5°)であるLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λ=0.001〜0.05のAuによりIDTを構成して伝搬損失の少ないSH波を励振する。
請求項(抜粋):
オイラー角が(0°,125°〜146°,0°±5°)であるLiTaO3基板と、前記LiTaO3基板上に形成されたIDTよりなり、前記IDTは、Auを主成分とする電極材料からなり、かつ規格化膜厚H/λ=0.001〜0.05にて形成されていることによりSH波を励振するものであることを特徴とする表面波装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H03H 9/25 C
, H03H 9/145 C
Fターム (13件):
5J097AA01
, 5J097AA06
, 5J097AA34
, 5J097BB02
, 5J097BB03
, 5J097BB11
, 5J097BB15
, 5J097CC02
, 5J097DD28
, 5J097FF03
, 5J097GG03
, 5J097GG07
, 5J097KK05
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (1件)
-
弾性表面波装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-179551
出願人:富士通株式会社
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