特許
J-GLOBAL ID：200903053147082314

監視回路付基板保持装置

発明者：
石田 修也

石田 修也 について


出願人/特許権者：
日新電機株式会社

日新電機株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-027423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228440
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 基板と基板保持装置との間の静電容量を測定する技術を用いて、しかも基板の保持力不足状態を正確に検出することのできる監視回路付基板保持装置を提供する。【解決手段】 この監視回路付基板保持装置は、基板保持装置8、静電容量測定器42および比較回路44を備えている。基板保持装置8は、基板4を静電気によって吸着保持する静電チャック30を有しており、保持した基板4の表面方向Jおよび裏面方向Kへ移動させられる。静電容量測定器42は、保持された基板4と静電チャック30の電極34、36との間の合成静電容量Cを測定する。比較回路44は、基板保持装置8が表面方向Jへ移動しているときの減速時または裏面方向Kへ移動を開始するときの加速時に、静電容量測定器42で測定した静電容量Cと基準値Rとを比較して、前者Cが後者Rよりも小さいときに吸着力不足を表す信号S2 を出力する。
請求項（抜粋）：
基板を保持するものであって保持した基板の表裏方向へ移動させられる基板保持装置と、この基板保持装置に保持された基板と当該基板保持装置との間の静電容量を測定する静電容量測定器と、前記基板保持装置が基板の表面方向へ移動しているときの減速時または基板の裏面方向へ移動を開始するときの加速時に、前記静電容量測定器で測定した静電容量を所定の基準値と比較して、前者が後者よりも小さいときに保持力不足を表す信号を出力する比較回路とを備えることを特徴とする監視回路付基板保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/265 603 D
Fターム (8件)：
5C034CC11 ,  5C034CC19 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031JA09 ,  5F031JA45 ,  5F031MA30 ,  5F031MA31
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 静電吸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048552   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開平4-293250
  • 特開平2-249935
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