スラーリー型感光性組成物および該組成物を用いた表示または撮像デバイスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281805
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146598
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【構成】光照射によって酸を発生する化合物、酸架橋性または酸分解性を有する少なくとも1種の樹脂、および粉体を含有するスラーリー型感光性組成物。酸架橋性樹脂を含む場合にはネガ型の、また酸分解性樹脂を含む場合にはポジ型のレジストが得られる。この発明による各種デバイスの製造方法は、基板上に上述のスラーリー型感光性組成物の層を形成し、この層を所定のパターンに従って露光した後、加熱することを包含する。【効果】この発明によるスラーリー型感光性組成物は大量のビスアジド化合物や有害金属イオンのような有害物質を含有しないため安全であり、その上、解像性や感度のような像形成能力に優れている。この発明によるデバイスの製造方法は、製造工程が簡素であり、その結果、不良箇所を少なくして高品質の製品を歩留りよく製造することができる。

請求項（抜粋）：

光照射によって酸を発生する化合物、酸架橋性または酸分解性を有する少なくとも1種の樹脂、および粉体を含有するスラーリー型感光性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505 , G03F 7/038 , G03F 7/039 , G03F 7/38 511 , H01J 9/227

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭57-072140
特開平4-163552
特開昭60-247238

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