特許
J-GLOBAL ID：200903053210863844

研磨剤供給装置及び研磨剤保管容器

発明者：
功刀 敬治

功刀 敬治 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-334695
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165259
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 研磨剤を保管する容器壁面での研磨剤の乾燥を防止し、研磨剤の凝集・凝固を防止することができる研磨剤供給装置及び研磨剤保管容器を提供する。【解決手段】 研磨剤と純水とを調合する調合槽1の壁部に、冷却部9を設け、チラー10にて作られた冷却水を冷却部9に供給して調合槽1の壁部を冷却する。これにより、調合槽内部と、壁面3との間に温度勾配が生じ、壁面3に水滴4が付着する。これにより、研磨剤5の液面11が低下しても、壁面3における研磨剤の乾燥が防止され、その凝集・凝固が防止される。これにより、CMP研磨において、ウエハに傷が発生することが防止される。
請求項（抜粋）：
研磨剤と純水とを調合する調合槽と、この調合槽内の調合後の研磨剤を化学的機械研磨機に供給する供給手段と、前記調合槽の内部においてその壁面の温度が最も低くなるように調合槽内部に温度差を設ける手段とを有することを特徴とする研磨剤供給装置。
引用特許：
審査官引用 (2件)

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