特許
J-GLOBAL ID:200903053328005222
光モジュール試験装置及び光モジュール特性の測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-198338
公開番号(公開出願番号):特開2003-017789
出願日: 2001年06月29日
公開日(公表日): 2003年01月17日
要約:
【要約】【課題】 光モジュールの環境温度試験において、光モジュールの表面温度又は表面温度分布を精密に測定しかつ制御する。【解決手段】光モジュール10表面の指定された部位の温度を放射温度計40により測定し、その測定温度に基づき光モジュール10と接触する温度可変部30を加熱・冷却することで、当該部位を所定温度に制御する。試験温度として光モジュール表面温度を定義する試験仕様においても、光モジュールの表面を直接測定し制御するので、精密な温度シーケンスを実現できる。
請求項(抜粋):
光モジュールの一部に接触して熱伝導により該光モジュールの温度を可変する温度可変部と、該光モジュール表面の指定された部位の温度を測定する放射温度計と、該放射温度計の出力に基づいて該温度可変部の温度を制御し、該部位を所望温度に保持する温度コントローラとを備えたことを特徴とする光モジュール試験装置。
IPC (3件):
H01S 5/00
, G01J 5/10
, G01M 11/00
FI (3件):
H01S 5/00
, G01J 5/10 B
, G01M 11/00 T
Fターム (19件):
2G066AA20
, 2G066AC20
, 2G066BA09
, 2G066BA38
, 2G066BA44
, 2G066BB11
, 2G066BC15
, 2G066CA15
, 2G086EE04
, 2G086EE12
, 5F073AB15
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA02
, 5F073EA15
, 5F073FA05
, 5F073FA06
, 5F073FA24
, 5F073FA25
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭60-257147
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特開平3-204011
-
半導体検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-043814
出願人:株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
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