圧電作動高応答バルブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-534800
公開番号（公開出願番号）：特表2002-506182
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】高応答バルブ(10)は、予荷重され、オリフィス板(23)を覆って位置されたリーフ・スプリング(25)を有する。オリフィス板(23)は、複数の交互配置されたリッジ(62、64)と溝(61、63、65)を有し、溝は、バルブ入口(13、19)と連続的に連絡している。アパーチャ板(23)の複数のスリットまたは開口(49、51)がバルブ出口(21)と連続的に連絡し、各開口(49、51)は対応するリッジ(62、64)を通過する。中心軸(71)を有する圧電ディスクの略円柱形スタックをそれぞれが備える一対の電気機械トランスデューサ(27、29)が、バルブ(10)を作動する。各スタック(27、29)の一端は、調整ねじ(41、43)によってハウジングに対して調整可能に固定されており、スタックの他端にあるキャップ(35、37)が、スタックを対応するスプリング(25)端部に結合する。各キャップ(35、37)が、対応するスプリング端部にかみ合って、対応する中心軸(71)の近傍に維持するための切欠き(39)を含む。圧電スタック(27、29)の付勢が、スプリング(25)に追加の軸方向荷重を加え、バルブ(10)の流れ領域をそれに比例して開く。圧電アクチュエータからの利用可能な高い機械的な力が、高自然応答周波数を有する非常に硬いシステムの構造を可能にし、複数の開口(49、51)が実質上大きな総流れ領域を提供する。

請求項（抜粋）：

入口と出口を有するハウジングを有し、入口から出口へ選択的に流体を通すように動作可能なバルブであって、複数のリッジと溝が交互になっており、その溝が入口と連続的に連絡しているアパーチャ板と、それぞれが対応するリッジを通過する、出口と連続的に連絡するアパーチャ板の複数の開口と、入口から開口内への流体流れが遮断される閉じた位置と、交互配置されているリッジの開口内へ隣接する溝からの流体流れを可能にする少なくとも1つの開いた位置との間で動作可能なバルブを作動する手段とを備えるバルブ。

IPC (2件)：

F16K 31/00 , F16K 31/02

FI (2件)：

F16K 31/00 , F16K 31/02 A

Fターム (11件)：

3H062AA02 , 3H062AA14 , 3H062BB30 , 3H062BB33 , 3H062CC07 , 3H062DD01 , 3H062DD11 , 3H062EE06 , 3H062FF39 , 3H062HH02 , 3H062HH10

引用特許：

出願人引用 (5件)

弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-053744 出願人：シーメンス-エレマアクチボラゲット
制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-158543 出願人：株式会社日立製作所
質量流量制御器の制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-204937 出願人：株式会社リンテック

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審査官引用 (4件)

弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-053744 出願人：シーメンス-エレマアクチボラゲット
制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-158543 出願人：株式会社日立製作所
質量流量制御器の制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-204937 出願人：株式会社リンテック

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