特許
J-GLOBAL ID：200903053370469018
構造的に安定した赤外線ボロメーター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-589917
公開番号（公開出願番号）：特表2002-533668
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2002年10月08日
要約：
【要約】本発明による赤外線ボロメーターは、集積回路を含む基板(112)、1対の接続端子(114)、及び保護層(116)を有する駆動基板レベル(110)と、1対のアンカー部(122a)、1対の脚部(122b)、1つの高架部(122c)を含む支持橋脚(122)及び支持橋脚の上部に形成された1対の伝導線(124)を有する支持レベル(120)と、吸収体(132)に取囲まれたボロメーター要素(136)、吸収体の下部に位置する反射層(134)及び吸収体の上部に位置するIR吸収コーティング(138)を有する吸収レベル(130)と、吸収レベルと支持レベルの間に位置する1対のポスト(140)とを含み、ここでそれぞれのポスト上部は吸収体の中央部に取り付けられ、下部は支持橋脚の高架部に取り付けられる。吸収レベルには溝(201)がその縁に沿って、またはその近傍に形成され、吸収レベルに蓄積された応力が解放されることを防ぐ。
請求項（抜粋）：
赤外線ボロメーターであって、 基板及び1対の接続端子を含む駆動基板レベルと、 前記駆動基板レベルにその端部が固定されている1つの支持橋脚及び1対の伝導線を含む支持レベルと、 吸収体及び前記吸収体に取囲まれたボロメーター要素を含み、その変形防止のために溝が側縁(side edge)に沿ってまたはその近傍に形成された吸収レベルと、 前記吸収レベルと前記支持レベルの間に位置し、それぞれが電管を含む1対のポストとから構成され、それぞれの前記ポストの上端が前記吸収体の下方中央部に取り付けられ、その下端が前記支持橋脚に取り付けられることによって、前記ボロメーター要素の両端がそれぞれ前記電管及び前記伝導線を介してそれぞれ接続端子と電気的に接続されることを特徴とする赤外線ボロメーター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 C
2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G066BA09
, 2G066BA51
