シート状基板の搬送装置及び搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：青山葆 , 河宮治 , 山崎宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245117
公開番号（公開出願番号）：特開2004-083180
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】本発明はシート状基板の破損を生ずる応力が発生する原因となり得る中子ステージが無くとも、脆弱なシート状基板を搬送することができる搬送装置及び搬送方法を提供する事を目的とする。【解決手段】シート状基板10を平板状ステージ20から取り出して搬送する装置において、シート状基板10上に空気を基板の平面と平行方向に送る吸引手段50、シート状基板10の位置を制御するための制御ガイド60を有する搬送装置である。シート状基板10を下から保持する保持ガイド70を有する搬送装置が好ましい。中子ステージを用いないので、本質的に上記の問題を解決し得る。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

(i)シート状基板が配置されるステージ、(ii)ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する吸引手段、及び(iii)ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御する制御ガイドを有して成るシート状基板の搬送装置。

IPC (2件)：

B65G49/06 , H01L21/68

FI (2件)：

B65G49/06 A , H01L21/68 C

Fターム (9件)：

5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031GA14 , 5F031GA28 , 5F031HA34 , 5F031MA21 , 5F031MA26

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-272156
特開平2-253637
試料保持方法、試料回転方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-283071 出願人：株式会社日立製作所

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