特許

J-GLOBAL ID：200903053389766676

カラーフィルタ製造用現像装置

発明者： 島 康裕 ,  伊藤 慎次 ,  谷 瑞仁
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312970
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137335
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】着色感光性樹脂組成物を用いて着色画素3、4、5を形成する際に、残渣を確実に除去し、透過率が優れ突起のないカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造用現像装置を提供すること。【解決手段】カラーフィルタ製造用現像装置であって、現像・リンス後に着色感光性樹脂組成物の残渣を除去する、エアーと純水を混合して噴霧する2流体ノズルスプレー機構41を具備すること。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布された着色感光性樹脂組成物をフォトリソグラフィー法により着色画素として形成するためのカラーフィルタ製造用現像装置であって、現像・リンス後に着色感光性樹脂組成物の残渣を除去する、エアーと純水を混合して噴霧する2流体ノズルスプレー機構を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造用現像装置。

IPC (4件)：

G03F 7/30 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/42

FI (4件)：

G03F 7/30 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/42

Fターム (13件)：

2H025AA04 ,  2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025FA28 ,  2H025FA39 ,  2H048BA45 ,  2H048BB42 ,  2H048BB46 ,  2H096AA30 ,  2H096GA08 ,  2H096GA17 ,  2H096HA02 ,  2H096HA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板現像処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-333820   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• カラーフィルタの残査除去方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-044430   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭63-010157