表示装置の作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005860
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272923
出願日： 2001年01月15日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】プラスチック支持体を用いて高性能な表示装置を作製するための技術を提供する。【解決手段】素子形成基板上に剥離層を形成し、さらにその上に半導体素子及び発光素子を形成した後、発光素子の上に第1接着剤129により固定基板130を貼り合わせる。この状態でフッ化ハロゲンを含むガス中に晒すことにより剥離層が除去され素子形成基板が剥離される。その後、剥離された素子形成基板の代わりにプラスチック支持体からなる貼り合わせ基板132を貼り合わせる。

請求項（抜粋）：

素子形成基板の上に剥離層を形成し、該剥離層の上に絶縁膜を形成し、該絶縁膜の上に発光素子を形成し、該発光素子の上に第1接着剤を用いて固定基板を貼り合わせ、該固定基板を貼り合わせた後にフッ化ハロゲンを含むガスに晒すことにより前記剥離層を除去し、前記絶縁膜と貼り合わせ基板とを第2接着剤を用いて貼り合わせることを特徴とする表示装置の作製方法。

IPC (7件)：

G09F 9/00 338 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , H05B 33/14

FI (7件)：

G09F 9/00 338 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G09F 9/30 338 , H05B 33/14 A , H01L 29/78 626 C , H01L 29/78 627 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

表示装置の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-088789 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
カラー表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-047564 出願人：三洋電機株式会社
特開平2-245740

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